压力传感器种类很多,包括电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、光纤压力传感器,具体介绍如下:
1、电阻应变片压力传感器
电阻应变式压力传感器广泛应用于各种工业自控环境,是工业实践中最为常用的一种传感器。将电阻应变片粘贴在弹性元件特定表面上,当力、扭矩、速度、加速度及流量等物理量作用于弹性元件时,会导致元件应力和应变的变化,进而引起电阻应变片电阻的变化。电阻的变化经电路处理后的以电信号的方式输出,这就是电阻应变式传感器的工作原理。
2、半导体应变片压力传感器
半导体应变片压力传感器在早期是将半导体应变片粘贴在弹性元件上,制成各种应力和应变的测量仪器。随着半导体集成电路技术的发展,出现了由扩散电阻作为压阻元件的半导体压力传感器。
3、压阻式压力传感器
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
4、电感式压力传感器
电感式压力传感器也称变磁阻式压力传感器,它是在压力作用下使衔铁位移,使线圈的电感发生变化而工作的。根据其结构形式的不同,可以分为变闭隙式和螺管式两种。
5、电容式压力传感器
电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器,可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。
6、光纤压力传感器
利用光在光纤材料中的传播特性与作用在光弹性元件上压力的关系制成的压力传感器。光线压力传感器作为一种新型的传感器,与传统的压力传感器相比体积小、重量轻、具有电绝缘性、不受电磁干扰、可用于易燃易爆的环境中等优点。另外,还可以构成光纤分布式压力传感器,对桥梁、大坝等进行健康状况的实时监测。
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